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三維多光束并行加工模塊
產(chǎn)品介紹
本模塊應用在超快激光加工系統中，可將超快激光器輸出的單光束分成多光束，實(shí)現三維多光束并行加工。本模塊內置擁有自主知識產(chǎn)權的算法軟件，可實(shí)時(shí)更改多個(gè)光束在三維空間的位置、數量、能量等各項參數，具備多光束能量的測量、反饋與顯示功能，具備相差校正和偏振控制功能，通過(guò)算法和硬件的優(yōu)化，多光束能量均一性可達90%。
產(chǎn)品特點(diǎn)
通過(guò)多光束并行加工，成倍提高超快激光加工效率，有效解決高能量超快激光器能量利用率低、加工效率低等痛點(diǎn)；
可用于探索超快激光在微納加工過(guò)程中出現的各種新現象。例如：不同光斑排布對等離子體屏蔽效應的影響、偏振控制對加工效果的影響、多光束對材料內部應力場(chǎng)分布的影響等。
相關(guān)知識產(chǎn)權如下:
202010825888.8，202010825882.0
可用于探索超快激光在微納加工過(guò)程中出現的各種新現象。例如：不同光斑排布對等離子體屏蔽效應的影響、偏振控制對加工效果的影響、多光束對材料內部應力場(chǎng)分布的影響等。
相關(guān)知識產(chǎn)權如下:
202010825888.8，202010825882.0
系統參數
| 輸出光束數量 | 可達100束，動(dòng)態(tài)可調 |
| 分光能量利用率 | 70%-90% |
| 能量一致性 | 90%@25束光 |
| 承受最大單脈沖能量 | 30mJ@IR |
| 適用波長(cháng)范圍 | IR：1000-1100nm/GRN：460-560nm |
設備案例：
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